标准型质量流量控制器

21系列标准型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传 感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST 可溯源校准证书。 可用于快速精确地测量并控制过程气体的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。设备采用快速稳定的优质电磁 阀以及优化的 PID 调校，可达到优于100 ms 的控制速度，并保持稳 定性，并有超低压损产品可供您选择。

产品特色

l数字化产品

l多参数显示和输出：温度、压力、流量等

l多参数控制，如体积流量、质量流量和压力

l标配三种控制方式：数字、模拟和本地面板

l可选高精度：优于0.5%

l可测范围广，0.01～100%满量程

l响应时间快，优于100 ms

l内置98种气体

l可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气

行业应用

l大学 / 研究所

l环境监测

l真空行业及镀膜

l工业炉窑

l半 导 体

l汽车制造

l光 伏

l燃料电池

l计量校准

l过程工艺气体测量

精度升级（详情可咨询）

量程为 0.5 SCCM - 6000 SLPM， 其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指标升级：

l质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取zui大值）

l质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取zui大值）

l重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）

l质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程/℃温差  ±0.01% 满量程/Atm 压力差

l质量流量量程漂移 ± 0.01% 读 数/℃温差  ±0.1 % 读 数/Atm 压力差

标准型质量流量控制器性能指标

l介质要求非腐蚀性、洁净、干燥的气体

l介质种类内置了98 种气体，请参考背面，一台设备内置所有气体，用户可现场选择

l量 程 从 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM(详情可咨询销售）

l测量和控制范围    0.01~100% 满量程

lzui大显示流量   128%满量程

lzui大可控流量   102.4%满量程

l显 示 屏   按键操作，标准为 LCD 黑白显示屏（带背光），可选 TFT 彩色显示屏

l显示方式   同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

l精 度    ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）精度升级部分详情可咨询销售

                ±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）

l累计流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 读数的额外误差

l重 复 性 ± 0.2 % 满量程

l零点漂移 & 满量程漂移 0.02 % 满量程 / ℃ / Atm

l响应时间   优于 100 ms  

l预热时间   ＜ 1 s 

l标定工况   25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）

l工作温度   -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至 100℃）

l温度精度   ± 0.75 ℃  

l工作湿度   0 ~ 95 %，无冷凝

lzui大工作压力   1 MPaG（可选 2 MPaG 高压选项）

lzui低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压 80 KPaA 以上使用；其他真空压力建议做特殊标定

l压力精度 ± 0.5 % 读数（读数＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）

l满量程压损 参考背面详细压损表

l数据刷新频率 数字信号 40 Hz@19200 波特率；模拟信号：1000 Hz

l屏幕刷新频率 10 Hz

l数字输入 / 输出信号 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、  EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）

l模拟输入 / 输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

l可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度

l模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差

l 供电电压 7 - 30 VDC （如选4-20 mA输出，须为15 - 30 VDC ）

l供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）

                   额外加 40 mA（ 4 - 20 mA）

l电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

l泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

l材 质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、430FR不锈钢、硅、玻璃

l过程连接 标准为NPT内螺纹，详情参考压损表

l安装方式 对位置无要求

l防护等级 IP40

l认 证 ISO 9001、NIST、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）

*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询